扫描电子显微镜

仪器名称： 扫描电子显微镜

仪器型号： 日立 SU3500

制造厂商： 日本日立

购置时间： 2016年7月

放置地点：呈贡校区化学1133室

管理人： 刘鹏

联系方式： 13888139655

主要技术指标：（技术参数，不要太复杂，简短一点）

1、 SE探头分辨率：3.0 nm @ 30K 7.0 nm @ 3KV

2、 BSE探头分辨率：4.0 nm @ 30KV 10.0 nm @ 5KV

3、 放大倍数：最低倍率：5倍，最高倍率：300,000

4、 样品台尺寸：装载直径：200 mm样品。 4轴马达驱动样品台，具有彩色外界图片导航功能。行程：X = 55 mm；Y = 55 mm；Z= 50 mm；R = 3600；T= -20～+900

5、 二次电子探测器：二次电子像；高灵敏5分割背散射电子探测器：成分像、形貌像和三维像

仪器功能及附件：

扫描电子显微镜可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。①日立SU3500有很高的放大倍数，可达30万倍，放大倍数连续可调；可同时得到二次电子像、背散射电子像、两种图像混合像，也可四幅图像同时成像，BSE可分别成像，并和SE任意叠加混合。②试样制备简单：与仪器所同时配备的离子溅射仪（MC10000）同时使用，可按时间或电流强度对样品镀金，以便于检测。③本仪器同时配备美国EDAX电制冷能谱仪（Octane Plus），可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，可实现物质表面及断面元素的定性及定量分析（包含点分析、线分析及面分析），分析结果全面细致，稳定可靠。